




電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場需求
目前,全球每年對(duì)高純電子氣體的需求速度遞增,2009年全球LED用高純度特種氣體市場規(guī)模已達(dá)20億美元。美國Air Product、Praxair、德國Linder、法國Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場占有壟斷地位,年產(chǎn)能高達(dá)數(shù)千噸。
近年來隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展,氣體公司,特別是氮化jia技術(shù)的突破,對(duì)特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來愈高。越來越多的生產(chǎn)廠家和用戶開始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對(duì)生產(chǎn)、銷售和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益帶來的影響。

有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的血液,有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的糧食,還有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的腦細(xì)胞,氣體供應(yīng),這些都說明了電子氣體對(duì)于集成電路生產(chǎn)的重要性,無疑是集成電路制造所需要的關(guān)鍵材料。
面對(duì)如此的大好形勢,特種氣體公司如雨后春筍般的遍地崛起,安徽氣體,根據(jù)氣體圈子統(tǒng)計(jì),高純氨企業(yè)已經(jīng)在生產(chǎn)的和新項(xiàng)目立項(xiàng)確定的就有15家,笑氣的生產(chǎn)企業(yè)和立項(xiàng)已經(jīng)確定的有17家,三氟化氮生產(chǎn)企業(yè)未來也有近10家。這些企業(yè)大體分為三類,特種氣體,第1類是之前就從事特種氣體生產(chǎn)研究的企業(yè),第二類是由工業(yè)氣體企業(yè)轉(zhuǎn)型而來,第三類是非氣體行業(yè)的“慕名而來”,氣體圈子認(rèn)為國產(chǎn)化更多時(shí)候PK的應(yīng)該是質(zhì)量而非數(shù)量。

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